VPC-1100（高速型）

極限壓力

1.3X10^-4(使用液氮時)

排氣時間

10分鐘內可從大氣壓抽至10^-4Pa（使用液氮時）

玻璃罩

PYREX制耐熱玻璃 φ390mm×H350?mm

蒸發(fā)用電源

0?10V　MAX150A

排氣系統

6英吋D.P.1100L/sec擴散泵(ULK-060A)
GLD-201A 2臺　400L/min
6英寸液氨冷阱  

操作系統

排氣手動操作

壓力測定系統

皮拉尼真空計 GP-1S

電源

3φ　200V　5kVA
1φ　100V　1kVA

所要水量

200kPa1.5L/min（水溫：20℃、水圧：200?300kPa）

重量

約45kg

外形尺寸

325mm(長)×450mm(寬)×700mm(高)

附屬品

3φ200V帶包層接頭4m
1φ 100V 帶地線、帶電容器

VPC-060（空冷型）

極限壓力

6.6X10^-4(使用液氮時)

排氣時間

20分鐘內抽至1.3X10^-3Pa(使用液氮時)

蒸發(fā)用電源

0?10V　MAX150A

所要電力

100V１φ0.6kVA(主機)
200V１φ2.0kVA(蒸發(fā)用電源)

蒸發(fā)電極

1點式

重量

22kg

外形尺寸

350mm(長)×320mm(寬)×662mm(高)

選購件

1．夾具
2．鐘罩套
3．油霧過濾器(OMT-050A)
4．真空計
*請根據用途挑選選購件

VPC-060A（空冷自動型）

極限壓力

6.6X10^-4(使用液氮時)

排氣時間

20分鐘內抽至1.3X10^-3Pa(使用液氮時)

蒸發(fā)用電源

0?10V　MAX150A

所要電力

100V１φ0.6kVA(主機)
200V１φ2.0kVA(蒸發(fā)用電源)

蒸發(fā)電極

1點式

重量

22kg

外形尺寸

350mm(長)×320mm(寬)×662mm(高)

選購件

1．夾具
2．鐘罩套
3．油霧過濾器(OMT-050A)
4．真空計
*請根據用途挑選選購件

VPC-260F（空冷型）

極限壓力

6.6X10^-4(使用液氮時)

排氣時間

20分鐘內抽至1.3X10^-3Pa(使用液氮時)

蒸發(fā)用電源

0?10V　MAX150A

所要電力

100V１φ1.35kVA(主機)
200V１φ2.0kVA(蒸發(fā)用電源)

蒸發(fā)電極

1點式

重量

75kg

外形尺寸

530mm(長)×480mm(寬)×1135mm(高)

選購件

1．2點式蒸發(fā)電極
2．特殊2點式蒸發(fā)電極
3．3點式蒸發(fā)電極
4．鐘罩套
5．鐘罩升降機構
6．金屬鐘罩ABCD型
7．基板加熱組（?350℃MAX）
8．石墨電極器
9．內部夾具
10．油霧過濾器（OMT-100A）
11．排氣口過濾器（OMI-100）
12．真空計
*請根據用途挑選選購件

VPC-410（水冷型）

極限壓力

6.6X10^-4(使用液氮時)

排氣時間

8分鐘內抽至1.3X10^-3Pa(使用液氮時)

蒸發(fā)用電源

0?10V　MAX150A

所要電力

200V３φ1.35kVA(主機)
200V１φ2.0kVA(蒸發(fā)用電源)

蒸發(fā)電極

1點式

所要水量

2L/min

重量

80kg

外形尺寸

530mm(長)×480mm(寬)×1180mm(高)

選購件

1．2點式蒸發(fā)電極
2．特殊2點式蒸發(fā)電極
3．3點式蒸發(fā)電極
4．鐘罩套
5．鐘罩升降機構
6．金屬鐘罩ABCD型
7．基板加熱組（?350℃MAX）
8．石墨電極器
9．內部夾具
10．油霧過濾器（OMT-200A）
11．排氣口過濾器（OMI-200）
12．真空計
*請根據用途挑選選購件