產(chǎn)品[
日本YAMATO等離子清洗機MPC600
]資料
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產(chǎn)品名稱:
日本YAMATO等離子清洗機MPC600
產(chǎn)品型號:
MPC600
產(chǎn)品展商:
YAMATO
產(chǎn)品文檔:
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簡單介紹
日本YAMATO等離子清洗機MPC600
MPC600
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日本YAMATO等離子清洗機MPC600：
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MPC600
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RIE ? DP mode
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Electrode stage - up to6inch
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RF power is up to MAX. 600W
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One touch control
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Made of quartglasschamber
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Specifications
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Model
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MPC600
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Method
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RIE ?DPmode
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Electrode
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Aluminumroundtype
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RFgenerator
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50 - 600W
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Oscillatingfrequency
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13.56MHz
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Controlsystem
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Digitaldisplaywith one touch operation
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Chamber
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Adapted for 6inchwafer
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Chambermaterial
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SUS
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Reactiongas
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O2,Ar,CF4
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Purge gas
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N2 orDryair
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Flow meter
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Massflowcontrol
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Vacuumpump
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5000L/min
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Gas system
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2 line(Reactiongas) , 1 line (Purge)
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Externaldimension
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(W)650 x (D)700x(H)1,480mm
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Powersupply
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AC200/220/380V3phase 25A
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