產(chǎn)品[
日本YAMATO等離子清洗機(jī)PC1000-5030
]資料
如果您對該產(chǎn)品感興趣的話,可以
產(chǎn)品名稱:
日本YAMATO等離子清洗機(jī)PC1000-5030
產(chǎn)品型號:
PC1000-5030
產(chǎn)品展商:
YAMATO
產(chǎn)品文檔:
無相關(guān)文檔
簡單介紹
日本YAMATO等離子清洗機(jī)PC1000-5030
大型等離子清洗機(jī)PC1000-5030
在產(chǎn)品內(nèi)容中有關(guān)于日本YAMATO等離子清洗機(jī)PC1000-5030 的詳細(xì)介紹。
日本YAMATO等離子清洗機(jī)PC1000-5030 的詳細(xì)介紹
日本YAMATO等離子清洗機(jī)PC1000-5030
|
PC1000-5030
|
|
|
|
|
Specifications
|
|
Model
|
PC1000-5030
|
|
Plasmamethod
|
RIE ? DP
|
|
Electrode
|
Parallelflatstageplate
|
|
RFgenerator
|
100~1000W
|
|
Oscillationfrequency
|
13.56MHz
|
|
Controlsystem
|
LCDTouchpanelwith PLC
|
|
Chambersize
|
(W)600×(D)370×(H)145mm
|
|
Stage size
|
(W)500×(D)300mm
|
|
Chambermaterial
|
Aluminum
|
|
Reactiongas
|
O2,Ar,CF4,C5F8,SF6 or others
|
|
Purge gas
|
N2orDryair
|
|
Flow meter
|
Mass flowcontrol2line
|
|
Vacuumpump
|
700L/min
|
|
Gas system
|
2line(Reactiongas) , 1 line (Purge gas)
|
|
Externaldimension
|
(W)900×(D)950×(H)1,530mm
|
|
Powersupply
|
AC200/220/380V3phase 25A
|
|