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產(chǎn)品[

R&D, 少量生產(chǎn)用立式爐

]資料

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如果您對(duì)該產(chǎn)品感興趣的話,可以

產(chǎn)品名稱: R&D, 少量生產(chǎn)用立式爐
產(chǎn)品型號(hào): VF-1000
產(chǎn)品展商: 其它品牌
產(chǎn)品文檔: 無(wú)相關(guān)文檔
簡(jiǎn)單介紹
R&D, 少量生產(chǎn)用立式爐High performance processing for R&D Mini Batch, max 25 wafers batch processing 2 to 8 inch and 300mm wafer size are available

R&D, 少量生產(chǎn)用立式爐的詳細(xì)介紹

R&D, 少量生產(chǎn)用立式爐：

High performance processing for R&D
Mini Batch, max 25 wafers batch processing
2 to 8 inch and 300mm wafer size are available
Equipped with LGO heater to realize high temperature performance as mass-production equipment
Equipped with limited function simple control system

Outer dimension		W1500×D1000×H2100mm
Heater		LGO heater
Flat zone length		160 to 250mm
Wafer size		to 8inch
Batch size		to 25wafers
Controller		Model 880
Option		Forced-cooling system, N₂ load lock, 25 to 150 wafers of processing (VF-2000)